水，廃水または下水の処理（Ｃ０２Ｆ３／００～Ｃ０２Ｆ９／００が優先）［３］

水，廃水，下水または汚泥の処理（物質の化学変化の影響により有害な化学剤を無害にするまたはより有害でなくする方法Ａ６２Ｄ３／００ < 水，廃水，下水または汚泥の処理 < 化学

• • Copy UrlTwitterFacebookpocketLineCopy Markdown">Copy HTML

戻り圧力とユースポイントにおける圧力との差圧は、配管内での圧力損失などのために配管内の流量に応じて変動するため、上記のような戻り圧力が一定になるように制御する超純水製造装置では、ユースポイントにおける圧力が大きく変動してしまうことがある。この場合、ユースポイントにおける圧力が所望の範囲からずれるなどの問題が生じる。

超純水を製造してユースポイントに供給する超純水製造装置には、ユースポイントで使用されなかった純水をタンクに還流させるものがある。この種の超純水製造装置では、通常、超純水をユースポイントからタンクに還流させる戻り配管内の圧力である戻り圧力が一定になるように制御することで、超純水をタンクとユースポイントとの間で循環させている。