機械装置において、気密性を得るために、ゴム組成物等からなるシール材が用いられる。シール材の特性としては、硬さ、引っ張り強さ、圧縮永久歪み等がある。具体的に要求される特性は、使用目的に応じて異なる。

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プラズマに晒されても発塵し難いことが求められる。

機械装置において、気密性を得るために、ゴム組成物等からなるシール材が用いられる。シール材の特性としては、硬さ、引っ張り強さ、圧縮永久歪み等がある。具体的に要求される特性は、使用目的に応じて異なる。また、シール材を半導体製造装置に用いる場合、プラズマに晒されても発塵し難いことが求められる。