半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に適用される方法または装置（グループ３１／００～４９／００に分類されている装置またはその部品に製造または処理に特有な方法または装置はこれらのグループを参照

半導体装置，他に属さない電気的固体装置（測定のための半導体装置の使用Ｇ０１ < 基本的電気素子 < 電気

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レチクルの搬送システムの費用が高い問題を解決するために、レチクルの搬送システム及び搬送方法を提供することが求められている

リソグラフィマシンにおいて、レチクルはケースからマスクステージまでレチクルの搬送システムを通じて実現される。レチクルローディング精度に対する要求は高く、レチクルの搬送システムが直接作業者に向けられているので、マン・マシン工程に対する要求は比較的高い。