被覆形成材料の真空蒸着，スパッタリングまたはイオン注入法による被覆［４］

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従来の技術の課題を考慮してなされたもので、その目的とするところは、真空処理の際に放電空間に配置される防着部材から発生するパーティクルを抑制することができる技術を提供することにある。

「防着部材は保持部材に対して多数のボルトを用いて放電空間側から取り付けられているので、放電の際の熱による防着部材の伸びに起因して保持部材との間で擦れが生じ、これによりパーティクルが発生してしまう。